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從研發(fā)到生產(chǎn)——準(zhǔn)確測試的解決之道(圖)

點擊次數(shù):2268 更新時間:2009-05-05
本文介紹了使用集成信號源的測試設(shè)備構(gòu)建從研發(fā)到生產(chǎn)過程的測試方案,不僅降低成本,而且具有較高的精度、速度和靈活性
  新產(chǎn)品從研發(fā)到生產(chǎn)都需要通過測試過程。如果研發(fā)與生產(chǎn)時所用的測試設(shè)備相同,那么測試工作就比較容易完成,但是這要求測試儀器在進(jìn)行這兩個階段的測試工作時都具有較高的精度、速度和靈活性。
從研發(fā)到生產(chǎn)
  盡管產(chǎn)品在研發(fā)和生產(chǎn)過程中的很多電氣測試程序都是相同的,但是它們通常具有不同的優(yōu)先級。在研發(fā)階段,可以詳細(xì)地繪出I-V(電流-電壓)數(shù)據(jù)曲線,并仔細(xì)進(jìn)行分析,而在生產(chǎn)階段,就需要快速地反復(fù)測量I-V值,并與若干個標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行對比,以判斷該產(chǎn)品是否合格或者該批器件是否可以裝箱。
  需要搞清楚研發(fā)與生產(chǎn)兩個階段I-V測試數(shù)據(jù)之間的相互關(guān)系,以確保產(chǎn)品的各項指標(biāo)滿足性能和可靠性要求。在生產(chǎn)階段重復(fù)使用研發(fā)時使用的測試儀器在理論上是可行的,但是如果在選擇設(shè)備時沒有考慮到這一點,那么這種方案可能就不現(xiàn)實了。
  為了保證測試設(shè)備在研發(fā)和生產(chǎn)階段都能夠發(fā)揮良好的性能,必須考慮幾個因素,其中包括(待測試件)所需測試點的數(shù)量、靈敏度、復(fù)現(xiàn)性、可編程特性以及數(shù)據(jù)處理能力。
I-V數(shù)據(jù)采集
  在研發(fā)與生產(chǎn)階段,通過內(nèi)置直流源的測試儀的測試,可以利用I-V曲線來分析器件和材料的特性。其中可能還需要計算電阻和其他一些由I-V測量結(jié)果派生出的參數(shù)。例如,可以使用I-V數(shù)據(jù)分析異常情況、局部的zui大(或zui小)曲線斜率,或者進(jìn)行可靠性分析。典型的一種應(yīng)用就是測試半導(dǎo)體二極管的反偏漏流,進(jìn)行正偏和反偏電壓掃描,測量電流,從而得到其I-V曲線。
  過去,這些測試工作常常由專門的波形記錄儀來完成(波形記錄儀的本質(zhì)是一種示波器,其內(nèi)置的直流源能夠為DUT提供電壓或電流)。現(xiàn)在,很多波形記錄儀都已經(jīng)被淘汰,還有一些可以買到,價格在15 000~30 000美元之間,甚至更貴。大部分波形記錄儀都無法兼容現(xiàn)代計算機(jī)的通信總線,因此必須進(jìn)行手工操作,甚至只能將數(shù)據(jù)導(dǎo)出到軟盤上。

圖1 1-V數(shù)據(jù)圖,用于繪制晶體管曲線簇的數(shù)據(jù)是很多研發(fā)與生產(chǎn)過程中的主要測量目標(biāo)
  另外一種辦法就是組合使用各種儀器與PC相連,例如電壓/電流源、DMM(數(shù)字萬用表)或者皮可安培計。但是這種辦法需要費(fèi)很大的精力去調(diào)試各個儀器、正確連接信號和觸發(fā)電纜以及解決時序問題。
  使用集成信號源的測試設(shè)備可以降低設(shè)備成本,更方便地生成I-V曲線。這些高精度的儀器既可以用作帶寬掃描、脈沖發(fā)生和鉗位限制(compliance limit)等功能的電壓源或電流源,同時也能夠以很高的精度測量電流和電壓。
數(shù)據(jù)相關(guān)性問題
  當(dāng)某種新產(chǎn)品投入生產(chǎn)時,在研發(fā)階段進(jìn)行的一些測量工作也會帶入生產(chǎn)階段,以確保產(chǎn)品滿足性能和可靠性要求。如果研發(fā)測試與生產(chǎn)測試之間缺乏協(xié)調(diào)一致,那么常常會導(dǎo)致嚴(yán)重的后果。缺乏相關(guān)性是由于多種原因?qū)е碌臏y量不確定性而造成的。一般而言,任何測量數(shù)據(jù)不確定性中的一半都是由測試儀器造成的。另外一半是由于外部測試環(huán)境、輔助硬件和測量技術(shù)造成的。如果測量數(shù)據(jù)來源于不同的測試儀器,那么其測量不確定性將會超過測試環(huán)境造成的不確定性。另外,生產(chǎn)環(huán)境可能不如研發(fā)環(huán)境那樣容易控制,從而給測試儀器的測量數(shù)據(jù)帶來更多的不確定性。

圖2 采用遙測(Remote Sense)終端的四線(Kelvin)連接方式減少了由于測試引線上的壓降而
引入的誤差。為了減少漏流誤差,可以SMU的電壓跟隨器;它在電路中形成了一個低阻搞點,
與受保護(hù)的高陰搞點具有幾乎相等的電位,保護(hù)檢測(Guard Sense)導(dǎo)線探測該點的電位。
  因此,當(dāng)從研發(fā)階段進(jìn)入生產(chǎn)階段時,測試工程師必須考慮測量過程中不確定性(或者變化)因素引入的途徑。此外,他們在這兩個階段還要考慮下列問題:
  * 精度是否重要?這個問題可能更容易在實驗室的研發(fā)初期階段出現(xiàn)。
  * 測量一定要是可重現(xiàn)的嗎?也就是說,不論值如何,對于某個量的任意次測量都始終得到同樣的結(jié)果。這個問題常常出現(xiàn)在生產(chǎn)階段。
  * 測量需要花多長時間?一般來說,測量速度和精度之間存在一個折中。在生產(chǎn)階段測量速度往往非常重要。
  不同測量技術(shù)、不同測試重點下得到的數(shù)據(jù)可能具有不同的精度和弱相關(guān)性(精度是一個定性的說法。對于一組I-V測量數(shù)據(jù)而言,精度是指各個波形匹配的程度。失配程度決定了各組測量數(shù)據(jù)之間的不確定水平)。
  不同的測試場合使用相同的測試儀器,然后找出誤差來源并將其減至zui小,可以提高測試精度。限制分辨率的主要因素取決于測量電路中的總噪聲。某些噪聲來自于DUT,某些來自于互連線,還有一些來自于測量儀器。
內(nèi)置信號源的測量儀器特點
  SMU(source-measurement unit,源測量單元)具有可編程的特性,其中包含了由微處理器控制的雙極性電壓和電流源,某些SMU還提供了高達(dá)1kW幅度的脈沖模式。這類SMU能夠提供系列的電壓源,并測量相應(yīng)的電流,將測量數(shù)據(jù)存儲到存儲器中直到I-V掃描結(jié)束。然后,可以將數(shù)據(jù)下載到PC中進(jìn)行處理。
  選擇合適的SMU需要考慮以下幾點:測量靈敏度、精度/可重復(fù)性、速度、可編程硬件/固件特性、軟件/數(shù)據(jù)處理能力。
靈敏度、精度和重復(fù)性
  SMU能夠同時提供并測量電壓和電流,范圍從μA量級或fA量級到1000V或10A。根據(jù)所選擇的信號源與量程,SMU的精度和可重現(xiàn)性大約在 0.025%~0.10%之間。如果由于高電流而在連接線上產(chǎn)生了較大的壓降,可以利用SMU的四線測量功能(在“Sense HI”和“Sense LO”之間測量或控制電壓)來提高精度。某些SMU的固有噪聲電平低達(dá)0.4fAp-p,它們的保護(hù)電路(如圖2所示)可以容忍電纜和夾具上的雜散漏流造成的測量誤差。當(dāng)DUT的反偏漏流必須小于某個預(yù)定閾值的時候,較高的靈敏度和精度對于生產(chǎn)測試是尤其重要的。對SMU進(jìn)行編程,使其鉗位限制低于可接受的漏電流值,就可以實現(xiàn)快速的“通過/禁止-通過”測試。
速度/吞吐率
  生產(chǎn)上選擇SMU應(yīng)該具備某些能夠加快測試速度的特性。這些特性包括:數(shù)字I/O接口可以使用戶將該設(shè)備直接連接到器件機(jī)械手上實現(xiàn)某些基本的控制功能。SMU和其他測試設(shè)備之間的硬連線觸發(fā)式鏈路能夠減少外部總線的流量。合適的觸發(fā)同步機(jī)制能夠確保從信號源產(chǎn)生信號到DUT響應(yīng)測量之間有足夠的建立時間,但是要保持這一時間為zui小值,以達(dá)到盡可能高的吞吐率。
可編程硬件/固件特性
  很多SMU都具有程序存儲器(也稱為源存儲表),能夠存儲整個測試序列以便用戶調(diào)用。這一特征減少了總線流量,因為PC只需要發(fā)送一到兩條命令給SMU,啟動某個測試序列即可。利用SMU的數(shù)據(jù)緩沖可使測量速度達(dá)到每秒2000次讀操作。實際的速度取決于信號合成周期,這也是可編程的,以減少測試環(huán)境造成的交流周期噪聲。例如,大小僅為0.01PLC(60Hz下,0.01PLC =16.7μs)的A/D合成周期可以提供約4位半的測量分辨率,可以在zui大測量速度下進(jìn)行生產(chǎn)測試。更長的A/D合成周期可以得到zui大的測量分辨率,用于測量zui的設(shè)備指標(biāo)。
軟件/數(shù)據(jù)處理
  SMU制造商提供的軟件能夠增加測試儀器的功能。例如,Keithley提供的LabTracer軟件(如圖1所示)能夠控制四個SMU進(jìn)行波形記錄。該工具包相比傳統(tǒng)的波形記錄儀具有多種優(yōu)勢:
  * 靈活控制多個系列的SMU,表現(xiàn)多種設(shè)備的特性;* 每個波形記錄通道擁有各自獨(dú)立設(shè)定的測量參數(shù);
  * 該軟件支持多種標(biāo)準(zhǔn)的測試任務(wù),包括記錄晶體管的波形以及記錄四端器件的電氣特性;
  * 集成了無軟盤的數(shù)據(jù)采集、分析和存儲功能;數(shù)據(jù)可以直接導(dǎo)出到電子表格中。
將多功能的SMU與PC控制器相連可以非常經(jīng)濟(jì)地完成多種測量任務(wù),能夠以高度的相關(guān)性實現(xiàn)的測量。
 
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