合理進行壓力傳感器的過錯補償是其運用的要害。壓力傳感器首要有偏移量過錯、靈敏度過錯、線性過錯和滯后過錯，這篇文章將介紹這四種過錯發(fā)生的機理和對查驗作用的影響，一同將介紹為行進丈量精度的壓力標定辦法以及運用實例。
現(xiàn)在市場上傳感器品種豐富多樣，這使得方案工程師能夠挑選體系所需的壓力傳感器。這些傳感器既包含zui根柢的變換器，也包含更為凌亂的帶有片上電路的高集成度傳感器。因為存在這些區(qū)別，方案工程師有必要盡可能夠補償壓力傳感器的丈量過錯，這是保證傳感器滿意方案和運用央求的首要進程。在某些狀況下，補償還能行進傳感器在運用中的全體功用。
這篇文章以摩托羅拉公司的壓力傳感器為例，所觸及的概念適用于各種壓力傳感器的方案運用。
摩托羅拉公司出產(chǎn)的干流壓力傳感器是一種單片壓阻器材，該器材具有3類：
1. 根柢的或未加補償標定；
2. 有標定并進行溫度補償；
3. 有標定、補償和拓展。
偏移量、方案標定以及溫度補償均能夠經(jīng)過薄膜電阻網(wǎng)絡結(jié)束，這種薄膜電阻網(wǎng)絡在封裝進程中選用激光修改。
該傳感器一般與微控制器聯(lián)絡運用，而微控制器的嵌入軟件本身建立了傳感器數(shù)學模型。微控制器讀取了輸出電壓后，經(jīng)過模數(shù)變換器的變換，該模型能夠?qū)㈦妷毫孔儞Q為壓力丈量值。
傳感器zui簡略的數(shù)學模型即為傳遞函數(shù)。該模型可在全部標定進程中進行優(yōu)化，而且模型的成熟度將隨標定點的添加而添加。
從計量學的視點看，丈量過錯具有恰當嚴重的定義：它表征了丈量壓力與實習壓力之間的區(qū)別。而一般無法直接得到實習壓力，但能夠經(jīng)過選用恰當?shù)膲毫σ?guī)范加以估量，計量人員一般選用那些精度比被測設備高出zui少10倍的儀器作為丈量規(guī)范。
這種未經(jīng)標定的初始過錯由以下幾個有些構(gòu)成：
a. 偏移量過錯。因為在全部壓力方案內(nèi)垂直偏移堅持安穩(wěn)，因而變換器松散和激光調(diào)度修改的改動將發(fā)生偏移量過錯。
b. 靈敏度過錯，發(fā)生過錯巨細與壓力成正比。假定設備的靈敏度高于典型值，靈敏度過錯將是壓力的遞加函數(shù)(見圖1)。假定靈敏度低于典型值，那么靈敏度過錯將是壓力的遞減函數(shù)。該過錯的發(fā)生緣由在于松散進程的改動。
c. 線性過錯。這是一個對初始過錯影響較小的要素，該過錯的發(fā)生緣由在于硅片的物理非線性，但關(guān)于帶拓展器的傳感器，還應包含拓展器的非線性。線性過錯曲線能夠是凹形曲線，也能夠是凸形曲線。
d. 滯后過錯：在大多數(shù)表象中，滯后過錯完夠忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力改動很大的表象中思考滯后過錯。
標定可消除或極大地減小這些過錯，而補償技能一般央求斷定體系實習傳遞函數(shù)的參數(shù)，而不是簡略的運用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及別的硬件均可在補償進程中選用，而軟件則能更靈敏地結(jié)束這種過錯補償作業(yè)。
一點標定法可經(jīng)過消除傳遞函數(shù)零點處的漂移來補償偏移量過錯，這類標定辦法稱為主動歸零。
偏移量標定一般在零壓力下進行，特別是在差動傳感器中，因為在標稱條件下差動壓力一般為0。關(guān)于純傳感器，偏移量標定則要困難一些，因為它要么需求一個壓力讀取體系，用以丈量其在環(huán)境大氣壓力條件下的標定壓力值，要么需求獲取希望壓力的壓力控制器。
差動的零壓力標定非常準確，因為標定壓力嚴重為0。另一方面，壓力不為0時的標定準確度取決于壓力控制器或丈量體系的功用。
挑選標定壓力
標定壓力的挑選非常首要，因其挑選了獲取精度的壓力方案。實習上，經(jīng)過標定后實習的偏移量過錯在標定點處zui小并一向堅持較小的值。因而，標定點有必要根據(jù)方針壓力方案加以挑選，而壓力方案能夠不與作業(yè)方案相一同。
為了將輸出電壓變換為壓力值，因為實習的靈敏度往往是不知道，因而在數(shù)學模型中一般選用典型靈敏度進行單點標定。
這種標定辦法與一點標定法比照央求更為嚴重，結(jié)束本錢也更高。然而與一點標定法比照，該辦法可顯著行進體系的精度，因為該辦法不只標定了偏移量，還標定了傳感器的靈敏度。因而在過錯核算中能夠運用靈敏度實習值，而非典型值。
某些運用中央求在全部壓力方案內(nèi)堅持較高的準確度。在這些運用中，能夠選用多點標定法來得到的作用。在多點標定法中，不只思考了偏移量和靈敏度過錯，還思考了大有些的線性過錯，如圖2紫紅色曲線所示。這兒用的數(shù)學模型與每個標定間隔(在兩個標定點之間)的兩級標定*一樣。
三點標定
如前所述，線性過錯具有一同的辦法，且過錯曲線契合二次方程的曲線，具有可猜想的巨細和形狀。關(guān)于未選用拓展器的傳感器更是如此，因為傳感器的非線性從本質(zhì)上是根據(jù)機械緣由(這是由硅片的薄膜壓力致使)。
線性過錯特性的描寫能夠經(jīng)過核算典型實例的均勻線性過錯，斷定多項式函數(shù)(a×2+bx+c)的參數(shù)而得到。斷定了a、b和c后得到的模型關(guān)于一樣類型的傳感器都是有用的。該辦法能在無需第3個標定點的狀況下有用地補償線性過錯。
摩托羅拉MPX2300的補償實例，MPX2300是一種首要運用于血壓丈量的溫度補償傳感器。多項式模型可由10個傳感器的均勻線性過錯得到，補償后的過錯約為zui大初始線性過錯的十至二非常之一，如圖3虛線所示。
該過錯補償辦法只需兩點標定即可將低本錢傳感器改善為高功用器材(過錯小于滿標度的0.05%)。
當然方案工程師要根據(jù)實習運用的準確度央求，挑選的標定辦法，此外還需求思考體系本錢。因為有多種集成度和補償技能可供挑選，方案工程師可根據(jù)不一樣的方案央求挑選恰當?shù)霓k法。 | 
